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产品分类SEMI-2500
SEMI-2500

2D和3D技术的完美结合

超景深融合技术
超景深3D技术
副相机巡检高精度倍率

  • 高效率,高精度
    主副相机协同工作,兼顾全检项目效率以及高精度巡检项目需求
  • 视觉系统
    0.5um精度光栅尺+高速度直线电机运动模块,视觉系统XYZ方向运动
  • 运动稳定可靠
    高精度大理石工作平台保证绝对运动时精度稳定可靠
  • 同步工作模式
    检测机夹爪+推杆同步工作模式,支持最窄板边距2.5mm
  • AI分割算法
    支持应用AI分割算法处理灰度对比度较小的金球鱼尾等特征,辅助计算
  • 系统
    ISO Class 4 10000级EFU空气净化系统,离子风系统

超景深图像整合系统,矩子采用高速,高精度的运动系统连续飞拍,并辅以业界顶尖的GPU硬件及自主算法进行图像高速融合。

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矩子采用超景深3D高度恢复系统,减少高反光的出现,并且不受景深的影响。

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视觉系统巡检副相机:具备超高的光学放大倍率 (> 10x APO ) 及图像分辨率,能够观察更微观的缺陷特征

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